20世纪50年代起，惠阳地区地方法院成立公证处，设有公证员。1956年5月11日，惠阳地区人民法院成立附设公证室，自50年代中期至70年代未期，惠阳地区的公证制度一直处于时续时断、办办停停的状态。80年代初期，惠阳公证制度开始走上健康发展的轨道，惠阳县公证处正式开办。经惠阳市县人民政府批准，成立惠阳县公证处。1981年2月惠阳县公证处划归惠阳县司法局管理，明确行政级别。惠阳县公证机关开始办理经济合同公证和公民申办收养子女、继承财产、遗嘱、赠与、委托、转让以及房屋买卖等公证。

1982年4月13日，《中华人民共和国公证暂行条例》颁布后，随着人民群众对于公证制度的逐步了解和认识，申请民事公证的逐渐增多。国内民事公证的业务范围主要包括遗产继承、房屋买卖、分家析产、房产证明、收养子女、房产证明、赠与等公证事项。尤其是与群众切身利益关系密切的继承权、确认产权、宅基地使用权、房屋搬迁等，更成为民事公证的主要内容。

1994年5月6日，国务院批准撤销惠阳县，设立惠阳市（县级）。次年6月，惠阳市公证处正式挂牌。1995年以后，随着经济形势的发展，惠阳市公证机关仍把民事公证作为防止纠纷、减少诉讼，稳定社会、发展经济的重点 ，积极办理诸如房产赠与、产权登记、财产继承等的民事公证。

2001年惠阳市公证处脱离行政机关体制，改为事业单位体制，2002年，惠阳市公证处实行转制后，改为自收自支，激发了活力。后针对公证人员在公证工作中的过于注重经济效益，忽略社会效益的行为，开始加强思想政治教育，要求树立公证为人民服务、为社会服务思想，用实际行动搞好公证工作。

2003年3月，经国务院批准，惠阳撤市设区，2003年6月10日正式挂牌，惠阳市公证处改为惠阳区公证处。

2012年，惠阳区公证处改为惠阳公证处，明确为公益三类事业单位。

2017年6月，惠阳公证处由公益三类事业单位改为公益二类事业单位。

2022年4月，惠阳公证处由公益二类事业单位改为登记设立的事业单位，公证处发展进入了新时期。